壓力響應範圍是(shì)傳感器(qì)性能(néng)評估的(de)一(yī≥♣♠)項重要(yào)指标

發布時(shí)間(jiān)：2022年(nián)07>₽月(yuè)04日(rì) 18時(shí)1§✘✘2分(fēn)23秒(miǎo)

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　　本文(wén)為(wèi)大(dà)家(jiā)講↕ Ω♦解的(de)是(shì)關于壓力響應範圍是(shσ÷"φì)傳感器(qì)性能(néng)評估的(de)一(yī)項重要(yào)指标β↑"，下(xià)面偉烽恒小(xiǎo)編将從(cóng)極低(d <ī)壓和(hé)高(gāo)壓兩個(gè)角度為(→÷​→wèi)大(dà)家(jiā)進行(xíng)簡單闡述♦©β™。由于大(dà)多(duō)數(shù)傳感器(qì)在正常壓力範圍內(nè↕"↓i)擁有(yǒu)出色的(de)響應能(néng)®δ力，但(dàn)是(shì)在極低(dī)壓下(xiàλπ)(低(dī)于壓力檢測限)卻不(bù)響應了(le)。

　　基于這(zhè)個(gè)問(wèn)題，很(hěn)多(duō)研 φ×究者提出了(le)相(xiàng)應的(de)解決辦法。例如(Ω±rú)Dagdeviren等在傳感陣列單元中引入PZT設計(j≥♥ì)了(le)一(yī)種小(xiǎo)巧輕薄↓'δ并且可(kě)拉伸30%的(de)壓電(diàn)型傳感器(←©<qì)，它可(kě)以和(hé)皮膚很(hěn)好(hǎo)地‌<©(dì)貼合。由于場(chǎng)效應晶體(tǐ)×σ↔↓管的(de)放(fàng)大(dà)效應，該傳感器(qì)擁有(yǒu)∑¶↓™超低(dī)的(de)檢測極限(可(kě)以感應到(dào)0.005Pa的(®™de)壓力)。

　　除了(le)擴展低(dī)壓區(qū)的♠↕(de)檢測限，壓力傳感器(qì)也(yě≠ )需要(yào)在高(gāo)壓區(qū)具有(yǒβ₩u)良好(hǎo)的(de)響應。前面已經提到(dào)，很(hě§∑'n)多(duō)研究工(gōng)作(zuò)通(tōng)過®₽Ω引入活性層或電(diàn)極上(shàng)的(de÷©★)微(wēi)結構來(lái)提高(gāo≤≤♥)器(qì)件(jiàn)的(de)靈敏度，包括金(jīn)字塔、尖錐狀、球‍♦©₽狀微(wēi)結構等，這(zhè)些(xiē)♥←€結構都(dōu)屬于穩定結構。

　　由于軟材料的(de)不(bù)可(kě★γ≈)壓縮性，以及這(zhè)些(xiē)結構受壓時(shí)發生≤≥<₩(shēng)硬化(huà)的(de)現(xiàn∞ &₽)象，采用(yòng)微(wēi)結構的(de)傳感器σ≠γ≈(qì)很(hěn)容易在壓力較大(dà)時(shí)信号達到(dào)飽和§≠(hé)，最近(jìn)我們課題組制(zhì)備了(le)具有(y<™σǒu)多(duō)級非穩态自(zì)補償結構的(de)離(l‌★ •í)電(diàn)型壓力傳感器(qì)有(yǒu)效地(dì)↑&×✔解決了(le)上(shàng)述問(wèn)題。

　　該工(gōng)作(zuò)采用(y≥ òng)一(yī)種易于失穩的(de)結構，它←λ在受壓失穩後，将嵌入到(dào)微(wēi)溝槽中，有(yǒ£"u)效地(dì)提高(gāo)結構的(de)可(kě)壓縮性。在該策略指導下(£© xià)傳感器(qì)在極寬的(de)壓力響✘∏γ應範圍內(nèi)(0.08 Pa—360 kPa$σ)的(de)靈敏度均超過了(le)220kPa–♠•≠‍1.在高(gāo)壓區(qū)的(de)靈敏度超過了(le)之前™®♣結果達4個(gè)數(shù)量級。

　　以上(shàng)就(jiù)是(shì)關≥<&∑于壓力響應範圍是(shì)傳感器(qì)性能(néng)評估的(de)一(yī)項重要 ε₽(yào)指标的(de)相(xiàng)關介紹暫時(shí)就(jiù)先講♦ε‍δ到(dào)這(zhè)裡(lǐ)了(le)，如(¥✘πΩrú)果您想要(yào)了(le)解更多(duō)關'±×于傳感器(qì)、無線射頻(pín)的(de)應用(yòn™δg)、以及選型知(zhī)識介紹的(de)話(huà)，可(kě)以收藏本¥∑β站(zhàn)或者點擊在線咨詢進行(xíng)詳細了(le)解，另外×↑↓(wài)偉烽恒小(xiǎo)編将為(wèi)您帶來(láiε∑)更多(duō)關于傳感器(qì)及無線射頻(pín)εΩ£相(xiàng)關行(xíng)業(yè)資訊。