偉烽壓力傳感器(qì)在微(wēi)壓測<量領域中靈敏度極高(gāo)
在微(wēi)壓測量領域中由于壓力數(shù€>)值較小(xiǎo),對(duì)敏感元件(jiàn)産生(shēng)的(d∏e)物(wù)理(lǐ)變化(huà)也(yě)相(xiàng)應的(de)小>✔(xiǎo)很(hěn)多(duō)。這(z©÷>hè)就(jiù)要(yào)求了(le)≥∏σ敏感元件(jiàn)需要(yào)滿足相(xiàng)對(duì)較' 高(gāo)的(de)靈敏度了(le)。而壓力傳感器(qì)由于靈敏度較高(gāo)頻(pín)率對(duì)壓力的(de)變™✘÷©化(huà)比較敏感。因此在低(dī)壓高(gāo)精度的(de)∏ε測量中有(yǒu)著(zhe)相(xiàng)對(duì)較§∏好(hǎo)的(de)性能(néng)表現(xiàn↓"✔©)。當精度要(yào)求不(bù)是(shì)很(hěn)高(÷®gāo)的(de)情況下(xià),擴散矽和(hé)電(diàn)∏←容式可(kě)以兼顧精度和(hé)成本。擴散矽壓力傳感器(qì)的(de)<φα≠靈敏度較高(gāo),其kPa也(yě)可(kě ♣♦π)應用(yòng)于微(wēi)壓下(xià)的(de)表壓絕壓γ≥♦測量。
那(nà)麽在低(dī)壓和(hé)中壓的(de)測量應用(y™®òng)中量程範圍可(kě)選性相(xiàng)對(duì)來✘ (lái)說(shuō)比較地(dì)廣泛↔λπ✔,高(gāo)精度可(kě)選諧振式,中等↕₹γα精度水(shuǐ)平可(kě)以選用(yòng)擴散¥∏γ↕矽式,陶瓷電(diàn)容電(diàn)阻ש式,金(jīn)屬應變式傳感器(qì)擴散矽式靈敏®®∞₽度高(gāo)和(hé)體(tǐ)積小(xiǎo)以及生(Ω♣≤shēng)産工(gōng)藝複雜(zá)且相(xià"×§ng)對(duì)成本略高(gāo),而陶瓷σλ¥λ式成本低(dī)、精度低(dī)、适合大(dà)批&π量低(dī)成本應用(yòng)中,由于材料的(de)特性其靈★®π敏度低(dī)不(bù)耐壓力瞬變和(hé)機(jī)械沖擊。金(j≠γ↔↕īn)屬應變類型考慮了(le)成本和(hé)精度。經¥★®過熱(rè)處理(lǐ)的(de)彈性體(tǐ)可(kě)以滿足不(bù)σ★≤同測量介質的(de)要(yào)求。根據不(bù)♣¥↑同的(de)工(gōng)藝,敏感元件(jiàn)包§σ☆≥括濺射膜、玻璃微(wēi)熔、應變片等。從(cóng)低(dī)₽£γ§靈敏度到(dào)高(gāo)靈敏度的(de)範圍受到(dào)彈性體♥€λ(tǐ)工(gōng)藝的(de)限制(zhì),然而在低>÷✔ (dī)壓下(xià)的(de)測量精度相(xiàng)對(duì)較差,£β★實用(yòng)新型的(de)優點是(s£¶hì)金(jīn)屬彈性體(tǐ)能(néng)夠承受較大↕≤(dà)的(de)沖擊。
而在中高(gāo)壓的(de)應用(yòng)中擴散矽和(hé)金(π"×≠jīn)屬應變式各有(yǒu)著(zhe)廣泛的(de)應用(yòng→>),陶瓷受限于材料的(de)強度高(gāo)壓耐受強度較差。金(jīn)屬•≈©¶應變式還(hái)具有(yǒu)較大(dà)的(de±γ)優勢,同時(shí)受益于金(jīn)屬彈性體(∞πtǐ)材料的(de)強度可(kě)以承受幾百兆帕的(de)壓力,同時¥&∏↕(shí)能(néng)夠應對(duì)較大(dà)沖擊的(de)×δ♣↕應用(yòng)場(chǎng)景。
壓力傳感器(qì)如(rú)果依照(zhào)準确度等級來(lái)看(k₩÷àn)的(de)話(huà)從(cóng)高(gāo)精度的(de)€σ♥Ω0.01級到(dào)低(dī)精度的(de)4.0級,通(t♦¶ōng)常諧振壓力傳感器(qì)還(hái)可(kě)以滿足從(cóng)低λ€(dī)壓到(dào)高(gāo)壓水(shuǐ)平0.01♦¥到(dào)0.05級的(de)測量要(yào)求。擴散矽傳感δ∑器(qì)的(de)精度範圍為(wèi)0.02~0.5級,陶瓷傳感器(qì ≠±)的(de)精度範圍為(wèi)0.2~4.0級,而金(jī $™n)屬應變傳感器(qì)的(de)精度範≈₹圍為(wèi)0.5~4.0級。
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